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滑閥式真空泵的原理

滑閥式真空泵的抽氣原理與旋片泵相似,但兩者結構不同。滑閥式真空泵是利用滑閥機構來改變吸氣腔容積的,故稱滑閥泵。

滑閥泵亦分單級泵和雙級泵兩種,有立式和臥式兩種結構形式。單級泵的極限壓力為0.4~1.3Pa;雙級泵的極限壓力為6×10-2 —10-1Pa。一般抽速超過150L/S的大泵都采用單級形式。這種泵可單獨使用,也可作其它泵的前級泵用。

1.工作原理
滑閥泵的結構主要由泵體及在其內部作偏心轉動的滑閥、半圓形的滑閥導軌、排氣閥、軸等組成(見圖1)。

 

圖1:滑閥式真空泵結構原理圖

泵體中裝有滑閥環(4),滑閥環內裝有偏心輪(3),偏心輪固定在軸(2)上,軸與泵體中心線相重合。在滑閥環上裝有長方形的滑閥桿(5),它能在半圓形滑閥導軌(7)中上下滑動及左右擺動,因此泵腔被滑閥環和滑閥桿分隔成A、B兩室。泵在運轉過程中,由于A、B兩室容積周期性地改變,使被抽氣體不斷進入逐漸增大容積的吸氣腔;同時,在排氣腔隨著其容積的縮小而使氣體受壓縮,并通過排氣閥排出泵外。

雙級型的滑閥泵,實際上是由兩個單級泵串聯起來的。它的高、低真空室在同一泵體上,有的是直接鑄成一個整體,有的是壓入中隔板把泵腔分成高、低兩室。

滑閥式真空泵結構圖
圖1:滑閥式真空泵的結構圖
1-泵體2-泵軸3-偏心輪4-滑閥環5-滑閥桿6-排氣閥7-滑閥導軌8-進氣管

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